廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“瑞樂(lè)半導(dǎo)體”)成立于2016年,是專業(yè)的晶圓測(cè)溫系統(tǒng)和晶圓校準(zhǔn)成套系統(tǒng)的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)(有線/無(wú)線)、On Wafer無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng),AMS無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)、ATS無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)等,為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度的晶圓測(cè)溫解決方案和晶圓校準(zhǔn)測(cè)量解決方案。主要測(cè)溫應(yīng)用場(chǎng)景包括:半導(dǎo)體制程中的爐管、勻膠顯影機(jī)、PVD Chamber 、? CVD Chamber、RTP/RTA Chamber 、去膠Strippers、靜電卡盤(ESC)、加熱板 Hot Plates、致冷盤 Cold Plates、后段探針臺(tái)、等離子蝕刻、離子注入、清洗、化學(xué)機(jī)械拋光、蒸鍍等場(chǎng)景,以及半導(dǎo)體制程中涂膠顯影、退火、刻蝕、薄膜沉積,制程腔體溫度、濕度、位置、尺寸校準(zhǔn),晶圓傳輸狀態(tài)測(cè)量等。
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